超凈工作臺的凈化過濾離不開HEPA高效過濾器:

超凈工作臺是隨著現(xiàn)代工業(yè)的崛起，越來越多環(huán)境都開始要求無塵無菌，做為無塵無菌空間的**典型代表-超凈工作臺的的舞臺也就越來越大了。

空氣凈化的產(chǎn)生：空氣經(jīng)過過濾的生產(chǎn)環(huán)境被航天工業(yè)使用。即使一個極其微小的缺陷都可造成衛(wèi)星工作失誤，因此，美國航天中心和其服務(wù)商們建造了帶有過濾口板夾層和過濾墻體的車間。而且首創(chuàng)了許多基本的污染控制理念，其中包括從工作人員潔凈服到潔凈室使用物的管理方法。

半導(dǎo)體工業(yè)采用了許多這方面的技術(shù)。一個主要的問題是當(dāng)從小加工車間擴(kuò)建為有更多工人工作的大型車間后，很難保持其固有的潔凈度。早期半導(dǎo)體工業(yè)把帶過濾口板夾層和墻體的方法演化為超凈工作臺。這個主要是把空氣過濾器裝在單個工作臺上，并使用無脫落的物質(zhì)。在超凈工作臺以外，晶圓被裝在密封的盒子中儲存、運輸。

在大型車間中按順序排列的超凈工作臺組成加工區(qū)，使晶圓依工藝次序經(jīng)過而不從露于空氣中。超凈工作臺的過濾器是一種顆粒搜集過濾器（過濾網(wǎng)）。這些過濾器是由含許多小孔，并按手風(fēng)琴琴葉折疊的脆性纖維組成，由于高密度的小孔與大面積的過濾層，使得大量的空氣低速流過。由于低速空氣可避免產(chǎn)生空氣流，有利于工作臺的潔凈度，并且對于操作員而言，在舒適的環(huán)境中工作也是必要的。典型的空氣流量6為每分鐘90到100英寸。過濾網(wǎng)可達(dá)到99.99%或更高的過濾效率，并可用于三種凈化方法中。

一般來說，HEPA高效過濾器裝于超凈工作臺頂部?？諝庥娠L(fēng)扇吸入先通過前置過濾器，再通過HEPA高效過濾器，并以均勻平行的方式流出，在工作臺表面改變方向，流出工作臺。安裝檔板可控制晶圓表面空氣流動方向，通常這種方式稱為空氣層流立式式（VLF）超凈工作臺，它是由空氣流的方向命名的。

有些超凈工作臺則把HEPA高效過濾器裝于工作臺后部，這種方式被稱為空氣層流平行（HLF）式超凈工作臺。

不管是哪種類型的超凈工作臺，都離不開使用HEPA高效過濾器，可以毫不夸張地說：沒有了高效過濾器，超凈工作臺也就達(dá)不到其凈化要求。

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