潔凈工作臺潔凈度檢測

測試方法：

1)進行潔凈度測試時，吸風口處的氣溶膠濃度(對于≥0.5μm的粒子)不得小于35000粒/L，當吸風口處不能滿足上述指標時，宜在潔凈工作臺吸風口處發(fā)多分散DOP氣溶膠。

2)當吸風口處的氣溶膠濃度達到穩(wěn)定條件下，在距主過濾器或整流格柵出口250mm的平行斷面的中心處(垂直層流潔凈工作臺距操作臺面250mm的中心處)連續(xù)測試5次，求其平均值。

3)操作區(qū)氣溶膠濃度測試盡量采用大流量(47.2X10-5m3/s(28.3L/min))塵埃粒子計數(shù)器，也可采用小流量塵埃粒子計數(shù)器，但采樣量不得小于1L。

4)潔凈工作臺吸風口處的氣溶膠濃度測試，需要在測試潔凈工作臺操作區(qū)氣溶膠濃度的時間內進行，要測5次以上。

5)當測試時有≥5μm粒子出現(xiàn)時，應進行多次采樣，當其多次出現(xiàn)時，才認為該測試數(shù)值是可靠的。

可比工作環(huán)境條件下的操作區(qū)氣溶膠濃度計算:

C=C2/C1×C0

式中:C—操作區(qū)對比氣溶膠濃度(≥5μm),(粒/L);

C1—潔凈工作臺吸風口處≥5μm的氣溶膠濃度平均值，粒/L;

C2—潔凈工作臺操作區(qū)≥5μm的氣溶膠濃度平均值，粒/L;

C0—可比工作環(huán)境中的≥5μm的氣溶膠濃度，取值為35000粒/L。

使用條件下操作區(qū)的潔凈度

潔凈工作臺在使用條件下，不論其使用環(huán)境中的含塵濃度是多少，要按有關規(guī)定進行測試，并按操作區(qū)氣溶膠的實測濃度來評價操作區(qū)的潔凈度。